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6517B靜電計/高阻表是一款由美國吉時利（Keithley）公司生產的高精度測量儀器，廣泛應用於物理、光學、納米技術和材料科學等領域。其卓越的性能、廣泛的應用範圍以及高精度的測量能力使其成為科研實驗室靈敏測量的標準。以下是對6517B靜電計/高阻表參數的詳細介紹：

一、基本概述

Keithley6517B靜電計/高阻表是一款半機架型的高精度測量儀器，融合了吉時利數十年的弱電測量技術知識。該儀器具有特殊的低電流輸入放大器，能夠可靠地測量極低電流、電荷以及高電阻值。同時，其內置±1kV的電壓源具有掃描能力，簡化了漏流測試、擊穿電壓測試和電阻測試等任務。

二、主要技術指標

1. 電阻測量

  測量範圍：6517B的電阻測量範圍非常廣泛，從10Ω到200GΩ（甚至可達10PΩ，具體取決於測量方法和配置）。

  測量精度：低電阻精度優於1%，高電阻精度優於10%（使用特定的測量方法，如加電壓測電流或加電流測電壓，不直接顯示阻值）。

  測量原理：采用變換電極法，實際上消除了樣本的背景電流，並剔除背景電流的第一級和第二級漂移。通過連續重複這個過程，並根據4個最新電流測量結果的加權平均值計算出電阻。這種方法通常能夠生成高度重複、準確的電阻（或電阻率）測量結果。

2. 電流測量

  測量範圍：6517B的電流測量範圍從1fA（包含噪聲）到20mA，能夠滿足從極微弱電流到較大電流的測量需求。

  輸入偏置電流：<3fA，確保了極低電流測量的準確性。

  輸入端壓降：<20μV，在測量極小電流時，能夠最大限度地減少對被測電路的影響。

3. 電壓測量

  測量範圍：6517B的電壓測量範圍從10μV（數字分辨率極限，可能含有噪聲）到200V，提供了高精度的電壓測量能力。

  測量精度：由於采用了高精度的測量技術和放大器設計，6517B在電壓測量方麵也具有很高的準確性。

4. 電荷測量

  測量範圍：6517B的電荷測量範圍從10fC（數字分辨率極限，可能含有噪聲）到20μC（或更高精度範圍，如10fC到2μC），適用於需要精確電荷測量的應用場景。

  測量精度：由於電荷測量通常涉及到微小的電流和電壓變化，6517B通過高精度的電流和電壓測量技術，結合特殊的電荷測量算法，實現了高精度的電荷測量。

三、特殊功能與特性

1. 內置±1kV電壓源

  功能：內置±1kV的電壓源具有掃描能力，能夠簡化絕緣材料上的漏流、擊穿和電阻測試及體電阻率（Ω-cm）和表麵電阻率（Ω/square）的測量工作。

  優勢：與外接電壓源相比，內置電壓源具有更高的穩定性和準確性，同時減少了連接和校準的複雜性。

2. 高輸入阻抗

  數值：6517B的輸入阻抗超過200TΩ，非常適合測量高阻材料和絕緣體。

  優勢：高輸入阻抗能夠最大限度地減少被測電路中的電流泄漏和幹擾，從而確保測量的準確性。

3. 低噪聲

  噪聲水平：6517B具有極低的噪聲水平，如噪聲低至0.75fA p-p（峰-峰），確保了對微弱信號的精確測量。

  優勢：低噪聲水平使得6517B能夠在噪聲環境下準確地測量微小電流和電壓變化，提高了測量的靈敏度和準確性。

4. 高測量速度

  讀數率：6517B的讀數率高達425讀數/秒，比同類型的靜電計顯著快。

  優勢：高測量速度支持快速的低電平元器件測試，提高了測試效率和準確性。同時，也使得6517B能夠實時地監測和記錄被測電路中的電流、電壓和電阻等參數的變化。

5. 可編程數字I/O和內置接口

  功能：6517B支持可編程數字I/O和內置接口，如GPIB、USB-TMC和LXI/以太網等。

  優勢：這些接口使得6517B能夠方便地與其他儀器和計算機進行連接和通信，支持自動化測試係統的構建和集成。同時，也方便了用戶對儀器進行遠程控製和數據采集。

6. 豐富的附件和選配功能

  附件：6517B提供了豐富的附件和選配功能，如8009型電阻率測試盒、選配插入式掃描卡等。

  優勢：這些附件和選配功能進一步擴展了6517B的應用範圍和靈活性，使得用戶能夠根據不同的測量需求和場景進行選擇和配置。

四、應用領域與優勢

6517B靜電計/高阻表廣泛應用於物理、光學、納米技術和材料科學等領域，適用於研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學應用等。其高精度、高靈敏度和豐富的功能特性使得6517B成為這些領域中靈敏測量的標準。同時，6517B還具有操作簡便、易於集成和維護等優點，為用戶提供了高效、可靠的測量解決方案。

五、總結

6517B靜電計/高阻表是一款性能卓越、功能豐富的高精度測量儀器。其電阻、電流、電壓和電荷測量範圍廣泛且準確度高；內置±1kV電壓源、高輸入阻抗和低噪聲水平等特性使得其在微弱信號測量方麵表現出色；高測量速度、可編程數字I/O和內置接口等特性則提高了測試效率和自動化程度。因此，6517B靜電計/高阻表在科研實驗室、電子製造業以及通信與物聯網等領域中具有廣泛的應用前景和市場需求。

文章來源測試儀器